P型长波Hg1—xCdxTe材料MBE生长技术研究 |
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引用本文: | 王善力,张勤耀.P型长波Hg1—xCdxTe材料MBE生长技术研究[J].红外与毫米波学报,1996,15(5):333-337. |
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作者姓名: | 王善力 张勤耀 |
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作者单位: | [1]中国科学院上海技术物理研究所红外我国国家重点实验室 [2]中国科学院上海技术物理研究所 |
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摘 要: | 用分子束外延的方法GaAs衬底上研制了P型长波HgCdTe材料,及32×32小规模长波混成红外焦平面列阵,其材料的均匀性以及生长材料的参数的可重复性良好,在适当的热处理条件,材料P型电学参数达到了较高水平,并具有良好的可重复性。
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关 键 词: | 分子束外延 P型 HgCdTe |
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