| 双材料微梁阵列非制冷红外成像系统——微梁阵列的设计与制作 |
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| 引用本文： | 董凤良 张青川 伍小平 潘亮 郭哲颖 陈大鹏 王玮冰 段志辉. 双材料微梁阵列非制冷红外成像系统——微梁阵列的设计与制作[J]. 红外与毫米波学报, 2005, 24(6): 409-413 |
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| 作者姓名： | 董凤良 张青川 伍小平 潘亮 郭哲颖 陈大鹏 王玮冰 段志辉 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学,中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,安徽,合肥,230027
2. 中国科学院微电子研究所,北京,100029 |
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| 基金项目： | 自然科学重点基金（10232030）、基金（50076040和10472111）资助项目 |
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| 摘 要： | 给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的SiNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-bit CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为7K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.
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| 关 键 词： | 非制冷红外成像 光学读出 双材料微悬臂梁阵列 |
| 文章编号： | 1001-9014（2005）06-0409-06 |
| 收稿时间： | 2004-11-15 |
| 修稿时间： | 2005-05-16 |
BIMATERIAL MICRO-CANTILEVER UNCOOLED INFRARED IMAGING SYSTEM--DESIGN AND FABRICATION OF MICRO-CANTILEVER ARRAY |
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| DONG Feng-Liang~,ZHANG Qing-Chuan~,WU Xiao-Ping~,PAN Liang~,GUO Zhe-Ying~,CHEN Da-Peng~,WANG Wei-Bing~,DUAN Zhi-Hui~. BIMATERIAL MICRO-CANTILEVER UNCOOLED INFRARED IMAGING SYSTEM--DESIGN AND FABRICATION OF MICRO-CANTILEVER ARRAY[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2005, 24(6): 409-413 |
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| Authors: | DONG Feng-Liang~ ZHANG Qing-Chuan~ WU Xiao-Ping~ PAN Liang~ GUO Zhe-Ying~ CHEN Da-Peng~ WANG Wei-Bing~ DUAN Zhi-Hui~ |
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| Affiliation: | DONG Feng-Liang~,ZHANG Qing-Chuan~,WU Xiao-Ping~,PAN Liang~,GUO Zhe-Ying~,CHEN Da-Peng~,WANG Wei-Bing~,DUAN Zhi-Hui~ |
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| Abstract: | The design and fabrication of one-layer bimaterial micro-cantilever array made of silicon nitride(SiNx) and gold(Au) without Si substrate for uncooled optical readout infrared(IR) imaging system were presented.One-layer structure simplifies the fabrication process.IR thermal images can be obtained when the cantilever array is placed in the atmosphere.The experimental results with the micro-cantilever array of 140×98 elements and 12-bit CCD indicate that the objects at the temperature of higher than 120℃ can be detected and the noise-equivalent temperature difference(NETD) of the device is ~7K.The experimental results are well accordant with the thermomechanical design of microcantilever array. |
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| Keywords: | uncooled infrared imaging optical readout bimaterial micro-cantilever array |
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