| 高工作温度中波红外碲镉汞焦平面研究 |
| |
| 引用本文： | 覃钢,秦强,何天应,宋林伟,左大凡,杨超伟,李红福,李轶民,孔金丞,赵鹏,赵俊.高工作温度中波红外碲镉汞焦平面研究[J].红外与毫米波学报,2023,42(5):588-593. |
| |
| 作者姓名： | 覃钢 秦强 何天应 宋林伟 左大凡 杨超伟 李红福 李轶民 孔金丞 赵鹏 赵俊 |
| |
| 作者单位： | 昆明物理研究所，云南 昆明 650223,昆明物理研究所，云南 昆明 650223,昆明物理研究所，云南 昆明 650223,昆明物理研究所，云南 昆明 650223,昆明物理研究所，云南 昆明 650223,昆明物理研究所，云南 昆明 650223,昆明物理研究所，云南 昆明 650223,昆明物理研究所，云南 昆明 650223,昆明物理研究所，云南 昆明 650223,昆明物理研究所，云南 昆明 650223,昆明物理研究所，云南 昆明 650223 |
| |
| 基金项目： | Supported by National Key Research and Development Program of China （No. SQ2020YFB200190）. |
| |
| 摘 要： | 该文报道了昆明物理研究所高工作温度中波红外碲镉汞焦平面探测器器件的研究情况。通过优化焦平面器件结构参数，采用As离子注入形成p-on-n平面结器件技术，在液相外延生长的高质量原位In掺杂的碲镉汞薄膜上制备了阵列规格为640×512@15μm的中波红外焦平面探测器。利用变温杜瓦测试了焦平面芯片在不同工作温度下的光谱响应、器件暗电流、噪声等效温差、有效像元率以及盲元分布等，测试结果表明器件具备180K以上工作温度的能力。
|
| 关 键 词： | 高工作温度 中波红外 碲镉汞 噪声等效温差 有效像元率 |
| 收稿时间： | 2023/3/31 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2023/8/9 0:00:00 |
High operating temperature mid-wavelength infrared HgCdTe focal plane arrays |
| |
| QIN Gang,QIN Qiang,HE Tian-Ying,SONG Lin-Wei,ZUO Da-Fan,YANG Chao-Wei,LI Hong-Fu,LI Yi-Min,KONG Jin-Cheng,ZHAO Peng and ZHAO Jun.High operating temperature mid-wavelength infrared HgCdTe focal plane arrays[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2023,42(5):588-593. |
| |
| Authors: | QIN Gang QIN Qiang HE Tian-Ying SONG Lin-Wei ZUO Da-Fan YANG Chao-Wei LI Hong-Fu LI Yi-Min KONG Jin-Cheng ZHAO Peng and ZHAO Jun |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | high operating temperature MWIR HgCdTe NETD operability |
|
| 点击此处可从《红外与毫米波学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《红外与毫米波学报》下载全文 |
|
