| InSb红外焦平面探测器结构应力的ANSYS分析 |
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| 引用本文： | 孟庆端,吕衍秋,鲁正雄,孙维国.InSb红外焦平面探测器结构应力的ANSYS分析[J].红外与毫米波学报,2010,29(6):431-434. |
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| 作者姓名： | 孟庆端 吕衍秋 鲁正雄 孙维国 |
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| 作者单位： | 1. 河南科技大学,电子信息工程学院,河南,洛阳,471003;中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009
2. 中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项日(60904023) |
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| 摘 要： | 借助有限元软件系统分析了铟柱取不同直径时红外探测器整体结构的应力分布.模拟结果表明,在固定铟柱高度的前提下,当铟柱直径以2μm的步长从36μm减小到18μm的过程中,InSb芯片上的最大应力值呈现出先减小,后线性增加的趋势,但铟柱上应力最大值始终保持在15.7MPa左右,且分布几乎不变.S i读出电路上的应力小于InSb芯片上的应力值,变化趋势类同于InSb芯片上应力的变化趋势.铟柱直径取30μm时,InSb芯片和S i读出电路上的应力均达到最小值260MPa和140MPa,整个器件的应力分布在接触区呈现明显的集中性、均匀性,分布更合理.
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| 关 键 词： | ANSYS 焦平面 InSb 结构应力 |
| 收稿时间： | 2010/1/11 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2010/5/31 0:00:00 |
Stress in InSb infrared focal plane array detector analyzed with ansys |
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| MENG Qing-Duan,LV Yan-Qiu,LU Zheng-Xiong and SUN Wei-Guo.Stress in InSb infrared focal plane array detector analyzed with ansys[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2010,29(6):431-434. |
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| Authors: | MENG Qing-Duan LV Yan-Qiu LU Zheng-Xiong and SUN Wei-Guo |
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| Affiliation: | School of Electronic and Informational Engineering, Henan University of Science and Technology, Luoyang, Henan 471003, China,china air to air missile academy |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ANSYS focal plane array InSb structural stress |
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