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980nm大功率垂直腔底发射激光器
引用本文:金珍花,孙艳芳,宁永强,晏长岭,秦莉,刘云,套格套,王立军,崔大复,李惠青,许祖彦.980nm大功率垂直腔底发射激光器[J].红外与毫米波学报,2005,24(1):61-64.
作者姓名:金珍花  孙艳芳  宁永强  晏长岭  秦莉  刘云  套格套  王立军  崔大复  李惠青  许祖彦
作者单位:1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033
3. 中国科学院物理研究所,北京,100080
基金项目:吉林省基金“半导体电泵浦集成微腔激光器”(20020604),国家自然科学基金“垂直耦合碟型微腔谐振器光学性质研究”(10104016)
摘    要:报道980nm大功率底发射垂直腔面发射激光器的结构、研制及器件的阈值电流、输出功率和光谱特性.在室温(24℃)下,5A连续电流工作时,出光孔径400μm的器件激射波长为984.1nm,输出功率达到1.42W,是目前所能见到报道中最高的.研究了出光孔径600μm的器件在连续工作时,激射波长、光谱半高宽随注入电流的变化以及在重复频率100Hz,脉冲宽度50—1000μs条件下的输出功率、效率与注入电流的关系.

关 键 词:垂直腔面发射激光器  大功率  输出功率  激光器  注入电流  器件  阈值电流  连续  波长  光谱
文章编号:1001-9014(2005)01-0061-04
收稿时间:2004/6/21
修稿时间:2004年6月21日

980nm HIGH POWER BOTTOM EMITTING VCSELS
JIN Zhen-Hu,SUN Yan-Fang,NING Yong-Qiang,YAN Chang-Ling,QIN Li LIU Yun,TAO Ge-Tao,WANG Li-Jun,CUI Da-Fu,LI Hui-Qing,XU Zu-Yan.980nm HIGH POWER BOTTOM EMITTING VCSELS[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2005,24(1):61-64.
Authors:JIN Zhen-Hu  SUN Yan-Fang  NING Yong-Qiang  YAN Chang-Ling  QIN Li LIU Yun  TAO Ge-Tao  WANG Li-Jun  CUI Da-Fu  LI Hui-Qing  XU Zu-Yan
Abstract:The structure design and fabrication process of 980nm high power vertical-cavity surface-emitting laser diodes (VCSELs) were reported. The threshold current, output power and spectrum characteristics were investigated. An optical output power as high as 1.42W for a 400μm diameter device was achieved at room temperature. To our knowledge, this is the highest record for a single device up to now. The dependence of the CW emitting wavelength and FWHM of spectrum of a 600μm diameter device on injection current indicated the heating effects in the active region. The output power performance was further characterized by using pulse operation with pulse width from 50~1000μs.
Keywords:vertical-cavity surface-emitting laser  high power  bottom emitting  injection current  thermal effect
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