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| 纳米VO2薄膜的制备及其可见光透过率的改善 | |
| 引用本文： | 沈楠,李毅,易新建.纳米VO2薄膜的制备及其可见光透过率的改善[J].红外与毫米波学报,2006,25(3):199-202. |
| 作者姓名： | 沈楠 李毅 易新建 |
| 作者单位： | 1. 华中科技大学,光电子工程系,湖北,武汉,430074 2. 华中科技大学,光电子工程系,湖北,武汉,430074;华中科技大学,控制科学与工程系,湖北,武汉,430074 3. 华中科技大学,光电子工程系,湖北,武汉,430074;华中科技大学,图像识别与人工智能研究所,湖北,武汉,430074 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60477040) |
| 摘 要： | 阐述了一种纳米VO2薄膜材料新型结构的制备方法.先用反应离子束溅射和退火工艺在玻璃基底上制备出具有相变特性的薄膜.HRTEM及XRD显示这种薄膜含有纳米量级的VO2颗粒,四探针测试电阻温度关系表明该类材料相变温度已经靠近室温,变化温度下测得的红外透过曲线表明该材料在相变前后具有良好的红外光开关特性.再针对该薄膜材料较低的可见光透过率,提出S iO2减反膜设计,取得了较好的实验效果.为开展VO2薄膜材料在智能窗类光电产品的应用研究打下了基础. |
| 关 键 词： | 二氧化钒薄膜 相变 离子束溅射 智能窗 |
| 文章编号： | 1001-9014（2006）03-0199-04 |
| 收稿时间： | 2005-11-03 |
| 修稿时间： | 2006-02-27 |
PREPARATION OF VO2 FILMS WITH NANOSTRUCTURE AND IMPROVEMENT ON ITS VISIBLE TRANSMITTANCE |
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| SHEN Nan,LI Yi,YI Xin-jian.PREPARATION OF VO2 FILMS WITH NANOSTRUCTURE AND IMPROVEMENT ON ITS VISIBLE TRANSMITTANCE[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2006,25(3):199-202. | |
| Authors: | SHEN Nan LI Yi YI Xin-jian |
| Abstract: | A method to deposit a new configuration of thermochromic VO_2 films material was described.By ion beam sputtering and annealing in reductive ambient,VO_2 films grown onto the glass substrate show an abrupt phase transformation.Nanometer-scale VO_2 grains are found under HRTEM and XRD observation.Four-point-test shows that the films' phase transition temperature has shifted towards room temperature.The transmittances measured on different temperatures also reveal that the material owns excellent switching response to infrared light at critical transition temperature.A design of SiO_2 anti-refection coating is used to improve low visible transmittance of the films,which obtains a satisfying result in experiments.It is a basic study in the applications of VO_2 films to smart windows. |
| Keywords: | VO_2 thin films phase transition ion sputtering smart windows |
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