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| 化学溶液分解法制备LaNiO3薄膜的研究 | |
| 引用本文： | 李亚巍,孟祥建,于剑,王根水,孙璟兰,褚君浩,张伟风.化学溶液分解法制备LaNiO3薄膜的研究[J].红外与毫米波学报,2003,22(4):269-272. |
| 作者姓名： | 李亚巍 孟祥建 于剑 王根水 孙璟兰 褚君浩 张伟风 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室,上海,200083;河南大学物理系,河南,开封,475001 2. 中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室,上海,200083 3. 河南大学物理系,河南,开封,475001 |
| 摘 要： | 采用化学溶液分解法直接在单晶Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜，研究了不同热处理气氛(空气和氧气)对薄膜的结晶性、晶粒尺寸、电阻率以及其上面生长的锆钛酸铅(PZT)薄膜的影响．结果发现二种气氛得到的LaNiO3薄膜的电阻率相差较大，其中在氧气中制备的薄膜电阻率仅为在空气中得到的1／2．对LaNiO3薄膜的导电机制进行了讨论． |
| 关 键 词： | 化学溶液分解法 镍酸镧薄膜 锆钛酸铅 电阻率 CSD 退火气氛 光电材料 |
| 收稿时间： | 2002/10/4 |
| 修稿时间： | 2002年10月4日 |
STUDY ON THE PREPARATION OF LaNiO3 THIN FILMS USING CHEMICAL SOLUTION DECOMPOSITION METHOD |
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| LI Ya-Wei, MENG Xiang-Jian YU Jian WANG Gen-Shui SUN Jing-Lan CHU Jun-Hao ZHANG Wen-Feng.STUDY ON THE PREPARATION OF LaNiO3 THIN FILMS USING CHEMICAL SOLUTION DECOMPOSITION METHOD[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2003,22(4):269-272. | |
| Authors: | LI Ya-Wei MENG Xiang-Jian YU Jian WANG Gen-Shui SUN Jing-Lan CHU Jun-Hao ZHANG Wen-Feng |
| Abstract: | LaNiO 3 thin films on Si(100) substrates were prepared using chemical solution decomposition method (CSD). The effects of annealing atmosphere (air and oxygen) on the crystallinity, grain size and resistivity of LaNiO 3 thin films, and the PZT films grown on the LNO layers were studied. The results showed that the value of the resistivity of the LaNiO 3 thin films annealed in oxygen is only half of that obtained in air. The conductive mechanism of LaNiO 3 thin films was discussed. |
| Keywords: | annealing atmosphere LaNiO 3 thin films CSD resistivity |
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