| 同时旋转起偏器和检偏器的红外椭圆偏振光谱仪研制 |
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| 引用本文： | 黄志明,金世荣,陈诗伟,陈敏辉,史国良,陈良尧,褚君浩.同时旋转起偏器和检偏器的红外椭圆偏振光谱仪研制[J].红外与毫米波学报,1998,17(5):321-326. |
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| 作者姓名： | 黄志明 金世荣 陈诗伟 陈敏辉 史国良 陈良尧 褚君浩 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金,上海市应用物理研究中心资助 |
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| 摘 要： | 研制成测量材料光学特性的红外椭圆偏振光谱仪，其测量波长范围为２．５～１２．５μｍ，入射角度在２０°～９０°连续可变．系统数据采集、前放自动增益控制、入射角度和波长设置及扫描均由计算机自动控制．给出了金反射率和ＧａＡｓ体材料折射率椭偏测量，并与其它方法进行了对比，并分析了实验测量技巧和主要实验误差
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| 关 键 词： | 红外 椭圆偏振 光谱仪 椭偏参数 光学常数 |
DEVELOPMENT OF INFRARED SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER BY SYNCHRONOUS ROTATION OF THE POLARIZER AND ANALYZER |
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| HUANG Zhi,Ming,JIN Shi,Rong,CHEN Shi,Wei,CHEN Min,Hui,SHI Guo,Liang,CHEN Liang,Yao,CHU Jun,Hao.DEVELOPMENT OF INFRARED SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER BY SYNCHRONOUS ROTATION OF THE POLARIZER AND ANALYZER[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,1998,17(5):321-326. |
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| Authors: | HUANG Zhi Ming JIN Shi Rong CHEN Shi Wei CHEN Min Hui SHI Guo Liang CHEN Liang Yao CHU Jun Hao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | infrared spectroscopic ellipsometer ellipsometric parameter optical constant |
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