| 具有亚波长模式局域性的全介质反槽波导及其与输入/输出光纤的高效耦合 |
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| 引用本文： | 岳文成,王庆,李欣雨,王书晓,余明斌.具有亚波长模式局域性的全介质反槽波导及其与输入/输出光纤的高效耦合[J].红外与毫米波学报,2021,40(6):709-714. |
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| 作者姓名： | 岳文成 王庆 李欣雨 王书晓 余明斌 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,硅基材料与集成器件实验室,上海200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,硅基材料与集成器件实验室,上海200050;中国科学院大学,北京100049;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,硅基材料与集成器件实验室,上海200050;西安理工大学电子工程系,西安710048;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,硅基材料与集成器件实验室,上海200050;上海微技术工业研究院,上海201800 |
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| 基金项目： | Supported by National Key Research and Development Program of China （2019YFB2203502）， Shanghai Sailing Program （20YF1456900）， Strategic Pioneer Research Projects of Defense Science and Technology （XDB43020500）， and National Outstanding Youth Foundation of China （61904185） |
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| 摘 要： | 由于金属固有的欧姆损耗，表面等离子体波导通常具有较大的传输损耗。基于此，提出了一种全介质反槽波导结构，该波导可以同时实现亚波长模式局域性和理论上无损耗的传输，归一化模式面积可以达到3.4×10-2。另外，为了实现该小尺寸反槽波导与输入/输出光纤的高效耦合，提出了一种高效的耦合方案，耦合效率可以达到92.7%，在y和z方向上1 dB损耗的耦合偏差均约为2 μm。
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| 关 键 词： | 光子集成电路 纳米光子学 波导 |
| 收稿时间： | 2020/11/18 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/12/14 0:00:00 |
All-dielectric antislot waveguide with subwavelength mode confinement and its high-efficiency coupling with input/output fiber |
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| YUE Wen-Cheng,WANG Qing,LI Xin-Yu,WANG Shu-Xiao and YU Ming-Bin.All-dielectric antislot waveguide with subwavelength mode confinement and its high-efficiency coupling with input/output fiber[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2021,40(6):709-714. |
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| Authors: | YUE Wen-Cheng WANG Qing LI Xin-Yu WANG Shu-Xiao and YU Ming-Bin |
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| Keywords: | photonic integrated circuits nanophotonics waveguide |
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