| 红外透射光谱在HgCdTe外延薄膜性能评价中的应用 |
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| 引用本文： | 杨建荣 王善力. 红外透射光谱在HgCdTe外延薄膜性能评价中的应用[J]. 红外与毫米波学报, 1996, 15(5): 327-332 |
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| 作者姓名： | 杨建荣 王善力 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所国家红外物理实验室半导体薄膜材料研究中心 |
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| 摘 要： | 用最新发表的ＨｇＣｄＴｅ材料的光学常数对ＭＢＥ工艺生长的ＨｇＣｄＴｅ／ＣｄＴｅ／ＧａＡｓ材料的透射光谱进行了理论计算，对受生长工艺破坏的衬底背面再次进行抛光处理，消除因表面不平整引起的漫反射效应，使实验测量得到的光谱曲线与理论计算结果很好地吻合，由此得到的ＨｇＣｄＴｅ和ＣｄＴｅ外延层的厚度和解理面上用显微镜测量的数值相同。
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| 关 键 词： | HgCdTe 外延层 红外透射光谱 薄膜 |
APPLICATION OF INFRARED TRANSMISSION SPECTRA IN ASSESSMENT OF HgCdTe EPILAYERS |
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| Yang Jianrong,Wang Shanli,Guo Shiping,He Li. APPLICATION OF INFRARED TRANSMISSION SPECTRA IN ASSESSMENT OF HgCdTe EPILAYERS[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 1996, 15(5): 327-332 |
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| Authors: | Yang Jianrong Wang Shanli Guo Shiping He Li |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | HgCdTe epilayer infrared transmission spectra |
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