| 低占空比红外增强吸收的量子阱微柱阵列 |
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| 引用本文： | 叶新辉,谢天,夏辉,李菊柱,张帅君,姜新洋,邓伟杰,王文静,李玉莹,刘伟伟,刘芳,李天信.低占空比红外增强吸收的量子阱微柱阵列[J].红外与毫米波学报,2021,40(1):1-6. |
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| 作者姓名： | 叶新辉 谢天 夏辉 李菊柱 张帅君 姜新洋 邓伟杰 王文静 李玉莹 刘伟伟 刘芳 李天信 |
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| 作者单位： | 上海理工大学 材料科学与工程学院，上海 200093;中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海 200083,上海理工大学 材料科学与工程学院，上海 200093;中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海 200083,中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海 200083,中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海 200083;上海师范大学 数理学院，上海 200234,上海理工大学 材料科学与工程学院，上海 200093;中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海 200083,中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海 200083;上海科技大学 物质科学与技术学院，上海 201210,中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海 200083;上海科技大学 物质科学与技术学院，上海 201210,中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海 200083;上海师范大学 数理学院，上海 200234,中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海 200083,中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海 200083,上海理工大学 材料科学与工程学院，上海 200093,中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海 200083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（11574336, 11991063）；中国科学院战略性先导科技专项（XDB43010200）；上海市自然科学基金（19ZR1465700, 14ZR1446200，18JC1420401） |
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| 摘 要： | 为了提高长波红外量子阱探测器的光耦合效率和信噪比,以8.7μm为中心波长,设计和制备了量子阱亚波长微柱阵列结构。与已经报道的金属或介质微腔结构不同,本文的微柱结构有源区包含50周期的量子阱/垒层,结合低至0.18的占空比,可望在增强吸收的同时显著抑制暗电流。红外光谱测量验证了制备的微柱阵列在8～9μm波段8%以内的低反射率特征,从而为高工作温度、高信噪比的长波红外探测提供了新方案。
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| 关 键 词： | 量子阱红外探测器 亚波长微柱阵列 占空比 红外反射谱 |
| 收稿时间： | 2020/3/30 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/1/13 0:00:00 |
Quantum well micropillar arrays with low filling factor for enhanced infrared absorption |
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| YE Xin-Hui,XIE Tian,XIA Hui,LI Ju-Zhu,ZHANG Shuai-Jun,JIANG Xin-Yang,DENG Wei-Jie,WANG Wen-Jing,LI Yu-Ying,LIU Wei-Wei,LIU Fang and LI Tian-Xin.Quantum well micropillar arrays with low filling factor for enhanced infrared absorption[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2021,40(1):1-6. |
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| Authors: | YE Xin-Hui XIE Tian XIA Hui LI Ju-Zhu ZHANG Shuai-Jun JIANG Xin-Yang DENG Wei-Jie WANG Wen-Jing LI Yu-Ying LIU Wei-Wei LIU Fang and LI Tian-Xin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | quantum well infrared detector subwavelength micropillar arrays filling factor infrared reflectance spectrum |
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