| 锰钴镍氧浸没式探测器制备及性能 |
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| 引用本文： | 周 炜,欧阳程,吴 敬,高艳卿,黄志明.锰钴镍氧浸没式探测器制备及性能[J].红外与毫米波学报,2015,34(2):161-165. |
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| 作者姓名： | 周 炜 欧阳程 吴 敬 高艳卿 黄志明 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海200083 ;中国科学院空间主动光电重点实验室,上海200083
2. 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海,200083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金：11204336, 61274138, 61275111 及 11304336, 上海市基金：12ZR1452200, 上海技术物理所创新专项：Q-ZY-86。National Natural Science Foundation of China (11204336, 61274138, 61275111 and 11304336), Shanghai Project (12ZR1452200), Innovation project of Shanghai Institute of Technical Physics (Q-ZY-86). |
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| 摘 要： | 基于化学溶液法制备了尖晶石结构氧化物锰钴镍氧Mn1.56Co0.96Ni0.48O4(MCNO)薄膜材料,研究了其电学性质及红外器件的探测性能,包括器件的响应率,时间常数和探测率.制作了厚度为8μm的MCNO薄膜及红外热敏探测器件,测量了材料的阻值-温度曲线.制作了基于半球形锗透镜的浸没式MCNO薄膜探测器,具有时间常数较小(~18 ms),响应率高(~4.4×103V/W)和探测率高(~5×108cm·Hz0.5/W)的优点.
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| 关 键 词： | 尖晶石氧化物 薄膜 热敏探测器 浸没式 |
| 收稿时间： | 2014/1/13 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2/6/2015 12:00:00 AM |
Fabrication and performance of Mn-Co-Ni-O thin film infrared detector |
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| ZHOU Wei,OU Yang-Cheng,WU Jing,GAO Yan-Qing and HUANG Zhi-Ming.Fabrication and performance of Mn-Co-Ni-O thin film infrared detector[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2015,34(2):161-165. |
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| Authors: | ZHOU Wei OU Yang-Cheng WU Jing GAO Yan-Qing and HUANG Zhi-Ming |
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| Affiliation: | National Laboratory for Infrared Physics,Shanghai Institute of Technical Physics,Chinese Academy of Sciences,National Laboratory for Infrared Physics,Shanghai Institute of Technical Physics,Chinese Academy of Sciences,National Laboratory for Infrared Physics,Shanghai Institute of Technical Physics,Chinese Academy of Sciences,National Laboratory for Infrared Physics,Shanghai Institute of Technical Physics,Chinese Academy of Sciences,National Laboratory for Infrared Physics,Shanghai Institute of Technical Physics,Chinese Academy of Sciences |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | spinel oxides thin films thermal-sensitive detector optical immersed |
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