| p-on-n长波、甚长波碲镉汞红外焦平面器件技术研究 |
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| 引用本文： | 李立华,熊伯俊,杨超伟,李雄军,万志远,赵鹏,刘湘云.p-on-n长波、甚长波碲镉汞红外焦平面器件技术研究[J].红外与毫米波学报,2022,41(3):534-539. |
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| 作者姓名： | 李立华 熊伯俊 杨超伟 李雄军 万志远 赵鹏 刘湘云 |
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| 作者单位： | 昆明物理研究所，昆明 650223,昆明物理研究所，昆明 650223,昆明物理研究所，昆明 650223,昆明物理研究所，昆明 650223,昆明物理研究所，昆明 650223,昆明物理研究所，昆明 650223,昆明物理研究所，昆明 650223 |
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| 基金项目： | 红外专项项目（LZX20190302） |
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| 摘 要： | As注入掺杂的p-on-n结构具有暗电流小、R0A值高、少子寿命长等优点，是长波、甚长波碲镉汞红外焦平面器件发展的重要趋势。介绍了由昆明物理研究所研究制备的77 K温度下截止波长为9.5 μm、10.1 μm和71 K下14.97 μm 的p-on-n长波、甚长波碲镉汞红外焦平面器件，对器件的响应率、NETD、暗电流及R0A等性能参数进行测试分析。测试结果表明，器件的有效像元率在99.78%~99.9%之间，器件的NETD均小于21 mK。实现了p-on-n长波、甚长波碲镉汞红外焦平面器件的有效制备。
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| 关 键 词： | 碲镉汞红外探测器 p-on-n长波器件 焦平面性能测试 NETD 暗电流 |
| 收稿时间： | 2021/9/6 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2022/5/31 0:00:00 |
Research on p-on-n LWIR and VLWIR HgCdTe infrared focal plane detectors technology |
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| LI Li-Hu,XIONG Bo-Jun,YANG Chao-Wei,LI Xiong-Jun,WAN Zhi-Yuan,ZHAO Peng and LIU Xiang-Yun.Research on p-on-n LWIR and VLWIR HgCdTe infrared focal plane detectors technology[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2022,41(3):534-539. |
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| Authors: | LI Li-Hu XIONG Bo-Jun YANG Chao-Wei LI Xiong-Jun WAN Zhi-Yuan ZHAO Peng and LIU Xiang-Yun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | HgCdTe infrared detector p-on-n long wave detector Focal plane performance tests NETD Dark current |
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