| 微区电阻测试方法及新测试仪研制 |
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| 引用本文： | 刘新福,孙以材,王静,张艳辉.微区电阻测试方法及新测试仪研制[J].微电子学与计算机,2003,20(9):55-57. |
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| 作者姓名： | 刘新福 孙以材 王静 张艳辉 |
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| 作者单位： | 河北工业大学微电子研究所,天津,300130 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(69272001)，河北省自然科学基金项目，天津市自然科学基金项目(013602011) |
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| 摘 要： | 文章对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述，特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析，对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法，并研制出新型四探针测试样机。
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| 关 键 词： | 微区电阻 测试方法 测试仪 大规模集成电路 电路尺寸 |
| 修稿时间： | 2003年2月21日 |
The Study on Means of Measuring Sheet Resistance of Microareas |
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| LIU Xin-fu,SUN Yi-cai,WANG Jing,ZHANG Yan-hui.The Study on Means of Measuring Sheet Resistance of Microareas[J].Microelectronics & Computer,2003,20(9):55-57. |
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| Authors: | LIU Xin-fu SUN Yi-cai WANG Jing ZHANG Yan-hui |
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| Abstract: | The means of measuring sheet resistance of microareas are summarized for both our country and aboard.The measuring theory and measuring progress and measuring results of the modified Van der Pauw are analyzed.A new operable method of measuring theory by image manipulation is put forward at last.A new type of testing equipment of four-point-method was made. |
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| Keywords: | Sheet resistance for microareas A modified Van der Pauw Method Four probe technique Mapping technique |
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