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| 利用触摸面板光刻银胶实现20μm布线间距 | |
| 引用本文： | 郑冬冬.利用触摸面板光刻银胶实现20μm布线间距[J].半导体信息,2012(1). |
| 作者姓名： | 郑冬冬 |
| 摘 要： | 正日本太阳油墨在"第三届尖端电子材料EXPO"(1月18～20日,东京有明国际会展中心)"上展出了用于静电容量式触摸面板布线材料的光刻银胶。该公司此次公开的布线图案样品实现了20μm/20μm线宽/线间距(L/S),电阻率为5.0×10—5Ω·cm。 |
| 关 键 词： | 触摸面板 线间距 布线图案 银胶 太阳油 静电容量 光刻法 利用 实现 线间隔 |
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