| 高分辨率热场发射显微镜(HRTFEM) |
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| 引用本文： | 陈尔纲,杨德清,窦菊英,孙祥乐,陈仲伟.高分辨率热场发射显微镜(HRTFEM)[J].电子显微学报,2000,19(4):617-618. |
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| 作者姓名： | 陈尔纲 杨德清 窦菊英 孙祥乐 陈仲伟 |
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| 作者单位： | 1. 云南大学物理系,昆明,650091
2. 美国 HMI Microvision |
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| 摘 要： | 1937年E.W.Müller1]发明了场发射显微镜(FEM),直到最近2],人们一直认为FEM的分辨力只能在2nm上下,因而不能像场离子显微镜(FIM)那样可以分辨原子3]。我们认为FEM的分辨力在理论上可以接近0.1nm,2nm并不是FEM的理论极限,而是人们在实际上一直未能用FEM所超过的水平。其原因在于人们对FEM成像中空间电荷的影响认识不足。众所周知,场发射电流密度比热发射电流密度大几个数量级,因而场发射电流在尖端前面所形成的空间电荷比较严重。在FEM中,图像是由尖端上电子云分布的投影形成的,空间电荷的存在必然干扰甚至屏蔽表面电子云的分…
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| 关 键 词： | 高分辨率 热场发射显微镜 HRTFEM |
The high resolution thermal field emission microscope (HRTFEM) |
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| CHENG Er-gang,YANG De-qing,DOU Ju-ying,SUN Xiang-le,CHEN Zhong-wei.The high resolution thermal field emission microscope (HRTFEM)[J].Journal of Chinese Electron Microscopy Society,2000,19(4):617-618. |
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| Authors: | CHENG Er-gang YANG De-qing DOU Ju-ying SUN Xiang-le CHEN Zhong-wei |
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