| Al掺杂ZnO薄膜原子力显微图像的多重分形研究 |
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| 引用本文： | 吕建国,宋学萍,孙兆奇.Al掺杂ZnO薄膜原子力显微图像的多重分形研究[J].电子显微学报,2008,27(3). |
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| 作者姓名： | 吕建国 宋学萍 孙兆奇 |
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| 作者单位： | 1. 安徽大学物理与材料科学学院,安徽合肥230039;合肥师范学院物理与电子工程系,安徽,合肥,230061
2. 安徽大学物理与材料科学学院,安徽合肥,230039 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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高等学校博士学科点专项科研项目
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安徽省人才基金
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安徽科技厅重点项目
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安徽省高校省级教学研究项目
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安徽省高校青年教师科研项目
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安徽大学人才队伍建设基金课题 |
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| 摘 要： | 用原子力显微镜观察溶胶-凝胶法制备Al掺杂znO薄膜的表面形貌,运用多重分形理论研究Al掺杂ZnO薄膜的原子力显微图像,多重分形谱可以很好地定量表征薄膜的表面形貌.结果显示:Al掺杂量为0.5 at.%的ZnO薄膜经550℃退火处理后,rms粗糙度为1.817,Al掺杂量为1.0 at.%的ZnO薄膜经600℃退火处理后,rms粗糙度增大到4.625,相应的分形谱宽△α从0.019增大到0.287,分形参数△f由-0.075变为0.124.
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| 关 键 词： | Al掺杂ZnO薄膜 原子力显微图像 表面形貌 多重分形谱 掺杂量 薄膜 原子力 显微图像 分形研究 ZnO thin films images microscopic force atomic study 分形参数 谱宽 粗糙度 退火处理 显示 结果 定量表征 多重分形谱 理论研究 |
Multifractal study of atomic force microscopic images of Al-doped ZnO thin films |
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| L Jian-guo,SONG Xue-ping,SUN Zhao-qi.Multifractal study of atomic force microscopic images of Al-doped ZnO thin films[J].Journal of Chinese Electron Microscopy Society,2008,27(3). |
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| Authors: | L Jian-guo SONG Xue-ping SUN Zhao-qi |
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| Affiliation: | L Jian-guo~(1,2),SONG Xue-ping~1,SUN Zhao-qi~(1*)(1.School of Physics , Material Science,Anhui University,Hefei Anhui 230039,China,2.Department of Physics , Electronic Engineering,Hefei Teachers College,Hefei Anhui 230061,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Al-doped ZnO thin films atomic force microscopic image surface topography multifractal spectrum |
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