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| 电子微束分析在电子元件中的应用 | |
| 引用本文： | 魏文忠.电子微束分析在电子元件中的应用[J].电子显微学报,1986(3). |
| 作者姓名： | 魏文忠 |
| 作者单位： | 上海市电子元件研究所 |
| 摘 要： | 电子微束分析已被广泛地应用于国内许多领域的科研工作之中。并取得令人嘱目的成效。相比之下,它在品种繁多的电子元件领域的应用尚不广泛,且未形成具有专业特色的测试技术。二年来,我所电镜室向各地龟子元件工厂直接开放,针对生产线上实际课题,作了下述四方面工作,取得良好效果。一、电子元件失效分析 |
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