表面改性氮化钛薄层的电子衍射分析

近年来离子注入作为表面改性的有效方法得到了快速的发展,氮化钛具有很高的硬度,在材料表面形成的薄层氮化钛可以提高抗磨损性能,这使得氮离子注入受到工程界的重视。改性薄层的研究还能丰富金属物理及金属学的知识,所以也引起了科学界的兴趣。本工作对离子束强化沉积得到的表面改性氮化钛薄层作了透射电镜观察,着重分析了其电子衍射强度异常现象。