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| 高质量SEM象获得及象缺陷处理(综述) | |
| 引用本文： | 杜学礼,潘子昂.高质量SEM象获得及象缺陷处理(综述)[J].电子显微学报,1984(4). |
| 作者姓名： | 杜学礼 潘子昂 |
| 作者单位： | 中日友好医院，中日友好医院 |
| 摘 要： | 高质量扫描图象的特征是分辨能力高、象质好(衬度适中、象面平滑)、焦深大(图象边缘及深度方向清晰)。为了获得高质量SEM图象除对仪器工作条件(加速电压、入射电子束流、二次电子检测和放大、工作距离、象散校正、物镜光阑孔径、试样倾斜、扫描速度和线数、拍照时间等)作精心选择外,还必须充分考究观察试样的性质、形状及其制备方法。实际观察中,由于试样性质和观察目的不同,所选的仪器工作条件不一定是理论上的最佳条件(如电子束斑直径与入射电子束流之间的关系、工作距离与焦深的关系、分辨能力与象质的关系等)。本文列举大量实验事实(附有照片)著重探讨导电试样和非导电试样(无重金属蒸涂膜或有重金属蒸涂膜) |
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