| 环境扫描电子显微镜中的电子传输 |
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| 引用本文： | 李春艳,杜海燕,董向红,王惠,姚?.环境扫描电子显微镜中的电子传输[J].电子显微学报,2001,20(4):287-288. |
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| 作者姓名： | 李春艳 杜海燕 董向红 王惠 姚? |
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| 作者单位： | 天津大学分析中心, |
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| 基金项目： | 天津大学测试计量技术与仪器国家重点实验室资助项目 |
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| 摘 要： | 早期Ａｒｄｅｎｎｅ等人用对电子透明的薄膜将ＴＥＭ的样品封装起来 ,使其与真空隔离 ,达到了检测生命物质、活体孢子和化学反应的目的。现在环境扫描电镜ＥＳＥＭ成为在气体环境中 (压力可以达到一个大气压 )检测样品表面的另一种强有力手段。由于ＥＳＥＭ的加速电压相对较低 ,而电子要从高真空区域 ,经过压差光阑和低真空区域 ,才有可能最终到达样品表面。所以在设计和应用中 ,尽量创造良好的电子传输条件是非常必要的。分析 :钨灯丝ＥＳＥＭ的真空系统由图 1表示 ,图中的两只压差光阑ＰＬＡ1和ＰＬＡ2 ,使样品室、一级和二级抽真空系统的…
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| 关 键 词： | 环境扫描电子显微镜 电子传输 |
Electron transportation in ECO-SEM |
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