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| 无导轨绝对距离测量技术的研究 | |
| 引用本文： | 尤政,任伟明,梁晋文.无导轨绝对距离测量技术的研究[J].应用激光,1994(5). |
| 作者姓名： | 尤政 任伟明 梁晋文 |
| 作者单位： | 清华大学精仪系 |
| 摘 要： | 本文概述了基于小数重合法的无导轨绝对距离测量技术并报导作者研制的多波长无导轨绝对距离测量系统。通过谐振腔腔长的调谐，形成二级合成波长值分别为１ｍ、１１．１ｍｍ，测量精度可达５μｍ±１×１０（－１）×Ｌ（Ｌ为被测长度）。 |
| 关 键 词： | 红外多波长，等光强稳频，无导轨测距 |
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