| 用双光束激发改进纳米Si_3N_4激光合成工艺 |
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| 引用本文： | 王锐,李道火,黄永攀,罗丽明,浦坦.用双光束激发改进纳米Si_3N_4激光合成工艺[J].大气与环境光学学报,2003(3). |
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| 作者姓名： | 王锐 李道火 黄永攀 罗丽明 浦坦 |
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| 作者单位： | 中国科学院安徽光学精密机械研究所，中国科学院安徽光学精密机械研究所，中国科学院安徽光学精密机械研究所，中国科学院安徽光学精密机械研究所，中国科学院安徽光学精密机械研究所 安徽 合肥 230031 山东道钬纳米技术研究院，山东 济南 250100，安徽 合肥 230031 山东道钬纳米技术研究院，山东 济南 250100，安徽 合肥 230031 山东道钬纳米技术研究院，山东 济南 250100，安徽 合肥 230031，安徽 合肥 230031 |
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| 摘 要： | 氮化硅(Si_3N_4)是优良的陶瓷材料,应用十分广泛。本文论述了激光诱导化学气相沉积法制备纳米Si_3N_4的工作原理,提出了减少游离硅的措施,采用双光束激发制备得到了超微的、非晶纳米 Si_3N_4粉体。
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| 关 键 词： | 激光诱导化学气相沉积 纳米Si_3N_4 双光束激发 |
Improvements of Synthesis Technics of Si_3N_4 Nano-powder by Double Beam Optical Stimulation |
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| WANG Rui,LI Dao-huo,HUANG Yong-pan,LUO Li-ming,PU Tan.Improvements of Synthesis Technics of Si_3N_4 Nano-powder by Double Beam Optical Stimulation[J].Journal of Atmospheric and Environmental Optics,2003(3). |
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| Authors: | WANG Rui LI Dao-huo HUANG Yong-pan LUO Li-ming PU Tan |
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| Abstract: | The Si3N4 is a kind of excellent ceramic material. It is used in many areas. In this article, the general principles of LICVD (Laser Induced Chemical Vapour Deposition) are investigated and measures to reduce dissociated Si are put forward. By applying double beam optical stimulation, we can obtain ultrafine and amorphous Si3N4 nano-powder. |
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| Keywords: | LICVD nano-Si3N4 double beam optical stimulation |
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