| TDL-Ta60型单晶炉的研制 |
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| 引用本文： | 高利强,王庆,王建春,董淑梅.TDL-Ta60型单晶炉的研制[J].电子工业专用设备,2005,34(1):71-74. |
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| 作者姓名： | 高利强 王庆 王建春 董淑梅 |
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| 作者单位： | 西安理工大学,陕西,西安,710048;西安理工大学,陕西,西安,710048;西安理工大学,陕西,西安,710048;西安理工大学,陕西,西安,710048 |
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| 摘 要： | 介绍了TDL-Ta60型单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。
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| 关 键 词： | 单晶炉 结构 直拉法 线圈升降 |
| 文章编号： | 1004-4507(2005)01-0071-04 |
| 修稿时间： | 2004年11月28 |
Research and Manufacture of the TDL-Ta60 Single Crystal Growth Furnace |
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| GAO Li-qiang,WANG Qing,WANG Jian-chun,DONG Shu-mei.Research and Manufacture of the TDL-Ta60 Single Crystal Growth Furnace[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2005,34(1):71-74. |
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| Authors: | GAO Li-qiang WANG Qing WANG Jian-chun DONG Shu-mei |
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| Abstract: | The paper introduces the design ideas and principium of the Ta60 single crystal growth furnace according to the special technics of crystal' growing, interprets main structure and characteristic of the equipment Ta60. |
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| Keywords: | the single crystal growth furnace structure CZ method winding ascend |
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