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| TZ-5型电路测试探针的主要改进 | |
| 引用本文： | 唐德兴,吴启明.TZ-5型电路测试探针的主要改进[J].电子工业专用设备,1985(1). |
| 作者姓名： | 唐德兴 吴启明 |
| 作者单位： | 电子工业部45第研究所，电子工业部45第研究所 |
| 摘 要： | <正> 集成电路向大规模、超大规模化发展,晶片尺寸越来越大,每个单元电路的铝引线数量越来越多,电极位置也日趋密集,为电路制造工艺中间测试提出了更加严格的要求。为了适应我国集成电路中测工艺发展的需要,最近,我所对 TZ—3A 型电路测试探针(即自动 |
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