掩模—硅片光电自动对准

本文文绍了几种实现掩模—硅片精确定位的光电自动对准方法及系统。着重讨论了它们的原理、特点及光电信号的转换,并列表说明了国内外部分自动光刻设备中自动对准装置的主要性能指标。