| 生产型GaN MOCVD设备控制系统软件设计 |
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| 引用本文： | 胡晓宇,何华云.生产型GaN MOCVD设备控制系统软件设计[J].电子工业专用设备,2006,35(11):28-32,49. |
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| 作者姓名： | 胡晓宇 何华云 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111 |
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| 基金项目： | 国家“863”计划项目(2002AA311243) |
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| 摘 要： | 对“用于GaN的生产型MOCVD”设备控制系统的软/硬件结构、关键技术进行了描述,介绍了国外几种生产型GaNMOCVD设备控制系统的特点;分析了MOCVD设备控制技术的发展趋势。
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| 关 键 词： | GaNMOCVD 自动控制 可编程控制器 软件 |
| 文章编号： | 1004-4507（2006）11-0028-05 |
| 收稿时间： | 2006-10-12 |
| 修稿时间： | 2006年10月12 |
Overview of GaN MOCVD controlling system software development |
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| HU Xiao-yu,HE Hua-yun.Overview of GaN MOCVD controlling system software development[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2006,35(11):28-32,49. |
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| Authors: | HU Xiao-yu HE Hua-yun |
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| Abstract: | The key technology points and software and hardware controlling structures for "GaN MOCVD" developed by the 48th research institute of CETC are described, then controlling system characteristics of several GaN MOCVD system is introduced. The controlling technology trend for MOCVD system is analyzed. |
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| Keywords: | GaN MOCVD Automatic controlling PLC Software |
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