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| 高精神激光干涉仪定位系统 | |
| 引用本文： | 卢维美.高精神激光干涉仪定位系统[J].电子工业专用设备,1999,28(1):27-34. |
| 作者姓名： | 卢维美 |
| 摘 要： | ＨＰ公司推出的新产品５５２７Ａ型双叔激光干涉仪的精密测量系统，采用数字控制ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板为核心组成的闭环位置控制线路，取得了亚微米有的定位精度和重复精度。重点介绍ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板的功能，推导出具有前馈补偿ＰＩＤ控制器的传递函数表达式，分析ＰＩＤ根轨迹图上零点的位置对伺服系统稳定性的影响，介绍控制器的调研方法，以及采用ＨＰ－３６５２Ａ动态信息号分析仪，可实现伺服轴板的快速调试， |
| 关 键 词： | 激光干涉测量 伺服轴板 激光干涉仪 定位系统 |
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