高分辨率离子束微细加工技术 |
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引用本文: | R.L.塞利格,刘恩荣.高分辨率离子束微细加工技术[J].电子工业专用设备,1981(1). |
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作者姓名: | R.L.塞利格 刘恩荣 |
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摘 要: | 只要是用细小尺寸的整形离子束去轰击靶物,离子束就可成为一种实现高分辨率微细加工的有效手段。本文首先给出以直径小于1000的聚焦镓离子束以扫描方式进行无掩模微细加工、掺杂和抗蚀剂曝光的结果。其次介绍一种离子束透射掩模。并给出用普通尺寸的150KV 质子束照射这种掩模,在 PMMA 抗蚀剂中得到的曝光结果,从而表明该方法具有对0.6μm 分辨率的掩模图形进行1X 复印的能力。最后讨论了仿模离子束光刻和聚焦离子束光刻的潜力。
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