| 基于薄膜结构的MEMS技术研究 |
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| 引用本文： | 陈大鹏,王玮冰,欧毅,杨清华,谢常青,刘辉,董立军,叶甜春.基于薄膜结构的MEMS技术研究[J].电子工业专用设备,2004,33(1):16-20. |
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| 作者姓名： | 陈大鹏 王玮冰 欧毅 杨清华 谢常青 刘辉 董立军 叶甜春 |
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| 作者单位： | 中科院微电子中心,北京,100029 |
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| 摘 要： | 报导了基于低应力自支撑SiNx薄膜结构的MEMS部分研究结果,包括从薄膜生长工艺、内应力和薄膜微观结构控制、薄膜的物性分析、镂空自支撑薄膜结构的工艺制作、自支撑薄膜结构动力学的有限元模拟、到最后镂空自支撑薄膜结构在MEMS系统中的应用所做的部分研究工作。
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| 关 键 词： | 氮化硅 悬臂梁微结构 微电子机械系统 有限元模拟 红外焦平面成像 |
| 文章编号： | 1004-4507(2004)01-0016-05 |
| 修稿时间： | 2003年12月9日 |
MEMS Technique Research based on Free-standing Membrane Structure |
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| CHING Da-peng,WANG Wei-bing,OU Yi,YANG Qing-hua,XIE Chang-qing LIU Hui,DONG Li-jun,YE Tian-chun.MEMS Technique Research based on Free-standing Membrane Structure[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2004,33(1):16-20. |
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| Authors: | CHING Da-peng WANG Wei-bing OU Yi YANG Qing-hua XIE Chang-qing LIU Hui DONG Li-jun YE Tian-chun |
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| Affiliation: | Insfifafe of Mieroelecfroncs Chinese Academy of Sciences |
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| Abstract: | This paper reports the parts result of MEMS research based on the low stress and free-standing SiNx membrane, include of the membrane preparing process, the controlling process of membrane stress and microstructures, character analysis of membrane, fabrication of free-standing microstructures, limited element analysis results, and the practice of free-standing membrane microstructures in MEMS. |
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| Keywords: | SiNx Cantilever structure MEMS Limited element analysis Focal plane array |
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