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| 晶圆级微波测试工艺研究 | |
| 作者单位： | ;1.中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 摘 要： | 从微波信号特性和微波器件晶圆级测试工艺要求出发,介绍了微波探针台的主要结构设计,并以某器件测试工艺为例,分别进行测试系统搭建、程序编写、数据读取与分析等描述,同时对该设备的特殊需求及后续发展方向进行展望。 |
| 关 键 词： | 微波探针台 晶圆级测试 电磁屏蔽 |
Process Research of Microwave Test in Wafer Level |
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| Keywords: | |