| TiN/TiCN多层膜薄膜;复合离子镀;调制周期;结构;力学性能 |
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| 引用本文： | 任鑫,江仁康,赵瑞山,王丞,黄美东.TiN/TiCN多层膜薄膜;复合离子镀;调制周期;结构;力学性能[J].有色金属工程,2019,9(12). |
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| 作者姓名： | 任鑫 江仁康 赵瑞山 王丞 黄美东 |
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| 作者单位： | 辽宁工程技术大学材料科学与工程学院,辽宁工程技术大学材料科学与工程学院,辽宁工程技术大学材料科学与工程学院,辽宁工程技术大学材料科学与工程学院,天津师范大学物理与材料科学学院 |
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| 基金项目： | 辽宁省教育厅科学技术研究基金 |
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| 摘 要： | 以304不锈钢为基体，利用复合离子镀技术制备了TiN/TiCN多层膜，主要研究了不同调制周期下薄膜组织结构和力学性能的变化规律。结果表明：不同调制周期下得到的TiN/TiCN多层膜表面比较致密、平整，随着调制周期的减小，表面质量有一定改善。多层膜结构主要由fcc-TiN型固溶体构成，不存在a-C结构。随着调制周期的减小，物相分析表明TiN/TiCN多层膜发生了择优生长，出现了（111）晶面生长织构，其纳米硬度和弹性模量逐渐增大，在调制周期λ=0.15 mm时达到最大值分别为35.56 GPa和436.2 GPa。
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| 关 键 词： | TiN/TiCN多层膜薄膜 复合离子镀 调制周期 结构 力学性能 |
| 收稿时间： | 2018/10/31 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2018/12/10 0:00:00 |
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