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纳米多层膜的研究进展
引用本文:肖晓玲.纳米多层膜的研究进展[J].材料研究与应用,2007,1(1):1-10.
作者姓名:肖晓玲
作者单位:广州有色金属研究院材料表面工程中心,广东,广州,510651
摘    要:综述了纳米多层膜的研究进展,包括多层膜超硬的原因、多层膜的种类、制备方法及结构和成分的检测手段,并提出纳米多层膜今后的研究方向和应用前景.

关 键 词:纳米多层膜  调制波长  硬度  内应力
文章编号:1673-9981(2007)01-0001-10
修稿时间:2006年8月21日

Research progress in nano-multilayer
XIAO Xiao-ling.Research progress in nano-multilayer[J].Journal of Guangdong Non-Ferrous Metals,2007,1(1):1-10.
Authors:XIAO Xiao-ling
Abstract:
Keywords:
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