| CrN膜层结构对其性能的影响 |
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| 引用本文： | 林松盛,黄儒明,苏一凡,石倩,韦春贝,代明江.CrN膜层结构对其性能的影响[J].材料研究与应用,2019,13(3). |
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| 作者姓名： | 林松盛 黄儒明 苏一凡 石倩 韦春贝 代明江 |
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| 作者单位： | 广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东广州510650 |
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| 基金项目： | 广东省科技计划项目(2017A070702016,2017A070701027,2014B070705007)，广东省科学院科技提升项目(2017GDASCX-0202,2017GDASCX-0111) |
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| 摘 要： | 为制备厚且结合良好的硬质陶瓷膜层,采用真空阴极电弧离子镀技术,在6Cr13Mo钢表面分别沉积不同膜层结构的CrN膜.利用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析探讨了膜层结构与性能之间的关系.结果表明:单层结构CrN膜沿(111)择优生长;随膜层厚度的增加,颗粒等缺陷增多及晶粒长粗,致密度下降,结合力及磨损率下降;多层结构Cr-CrN膜沿(200)择优生长,随膜层厚度的增加,晶粒细小,致密性高,结合力及磨损率保持稳定;当厚度在20μm左右时,单层结构Cr-CrN膜硬度(Hv)为1899、结合力为13 N、磨损率为17.30×10-6mm3/m·N,而多层结构Cr-CrN膜硬度(Hv)为2000、结合力为100 N、磨损率为4.25×10-6 mm3/m·N;多层结构Cr-CrN膜的性能明显优于单层结构CrN膜.
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| 关 键 词： | CrN膜，膜层结构，电弧离子镀，结合力，磨损率 |
Effect of CrN films structure on performance |
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| LIN Songsheng,HUANG Ruming,SU Yifan,SHI Qian,WEI Chunbei,DAI Mingjiang.Effect of CrN films structure on performance[J].Journal of Guangdong Non-Ferrous Metals,2019,13(3). |
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| Authors: | LIN Songsheng HUANG Ruming SU Yifan SHI Qian WEI Chunbei DAI Mingjiang |
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