| 钽在集成电路中的应用 |
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| 引用本文： | 潘伦桃,李彬,郑爱国,吕建波,李海军,王秋迎.钽在集成电路中的应用[J].稀有金属,2003,27(1):28-34. |
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| 作者姓名： | 潘伦桃 李彬 郑爱国 吕建波 李海军 王秋迎 |
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| 作者单位： | 宁夏东方钽业股份有限公司,宁夏,石嘴山,753000 |
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| 摘 要： | 介绍了在硅基片上用钽溅射靶溅射沉积和用钽的化合物气相化学沉积钽基膜（金属钽，碳化钽，氮化钽，硅化钽，氮化硅化钽，氮化碳化钽）作为集成电路中防止铜向基片硅中扩散的阻挡层，介绍了钽溅射靶的技术要求，加工方法以及化学气相沉积钽基薄膜的方法。
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| 关 键 词： | 钽 阻挡层 钽溅射靶 化学气相沉积 |
| 文章编号： | 0258-7076(2003)01-0028-07 |
| 修稿时间： | 2002年11月10 |
Application of Tantalum to LSIC |
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| Abstract: | Forming tantalum based films (tantalum, tantalum nitride, tantalum silicide, tantalum carbide) on Si substrate via both tantalum sputtering and chemical vapor deposition(CVD) as barrier layer in large scale integration circuitry ( LSIC) to prevent copper diffusion into Si layer and specification of tantalum sputtering target and the method of fabrication and CVD process were reviewed. |
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| Keywords: | tantalum barrier layer tantalum sputtering target chemical vapor deposit |
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