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铝金属基板的制备及性能
引用本文:穆道斌,金莹,马莒生.铝金属基板的制备及性能[J].稀有金属,2003,27(3):335-338.
作者姓名:穆道斌  金莹  马莒生
作者单位:1. 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083
2. 松下研发有限公司(中国),先端移动通信实验室,北京
3. 清华大学材料系,北京,100084
基金项目:教育部留学回国人员科研启动基金资助项目
摘    要:利用阳极氧化方法研制了应用于高密度封装中的铝金属基板。对其性能进行了测量。结果表明 ,在草酸电解液中获得的阳极氧化铝基板的膜层具有良好的电阻率 ,可达到 1× 10 1 4~ 1× 10 1 5Ω·cm数量级。其介电常数低于 10 ,随氧化膜层厚度增加而减小。对膜层进行的后续封孔处理提高了膜层的绝缘性能及耐蚀性。提高成膜温度有利于改善阳极氧化铝基板的耐热震性能

关 键 词:金属材料  铝基扳  氧化膜层  封孔处理
文章编号:0258-7076(2003)03-0335-04
修稿时间:2002年3月29日

Preparation and Properties of Aluminium Metal Substrate
Mu Daobin ,Jin Ying ,Ma Jusheng.Preparation and Properties of Aluminium Metal Substrate[J].Chinese Journal of Rare Metals,2003,27(3):335-338.
Authors:Mu Daobin  Jin Ying  Ma Jusheng
Affiliation:Mu Daobin 1,Jin Ying 2,Ma Jusheng 3
Abstract:
Keywords:anodized Al substrate  anodic film  seal treatment  
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