| ZrVFe吸气剂激活过程研究 |
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| 引用本文： | 顾为,熊玉华,杜军,毛昌辉,尉秀英,秦光荣.ZrVFe吸气剂激活过程研究[J].稀有金属,2007,31(4):501-505. |
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| 作者姓名： | 顾为 熊玉华 杜军 毛昌辉 尉秀英 秦光荣 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院先进电子材料研究所,北京,100088 |
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| 摘 要： | 通过X射线光电子能谱仪（XPS）对ZrVFe吸气剂的激活过程进行了研究。结果表明：暴露于大气的吸气剂表面覆盖着一层CO2,O2及碳氢化合物,合金表面中的锆和钒主要以氧化态存在。当吸气剂置于高真空进行激活时,钒的氧化物在较低的温度（200～300℃）下被还原,并且还原比例高于锆的氧化物。在激活温度为300℃至340℃的过程中,表面大量的ZrO2和VO2逐渐减少而被还原为亚氧化物和金属态。激活过程还导致了在表面近金属态锆的富集,以及部分金属碳化物的生成。
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| 关 键 词： | 锆钒铁 非蒸散型吸气剂 激活过程 X射线光电子能谱 |
| 文章编号： | 0258-7076（2007）04-0501-05 |
| 修稿时间： | 2006-09-28 |
Investigation of Activation Process on ZrVFe Getter |
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| Gu Wei,Xiong Yuhua,Du Jun,Mao Changhui,Wei Xiuying,Qin Guangrong.Investigation of Activation Process on ZrVFe Getter[J].Chinese Journal of Rare Metals,2007,31(4):501-505. |
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| Authors: | Gu Wei Xiong Yuhua Du Jun Mao Changhui Wei Xiuying Qin Guangrong |
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| Affiliation: | Institute of the Advanced Electronic Materials,General Research Institute for Non-Ferrous Metals,Beijing 100088,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZrVFe non-evaporable getters activation process XPS |
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