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化学气相沉积制取钨
引用本文:张长鑫.化学气相沉积制取钨[J].稀有金属,1987(3).
作者姓名:张长鑫
作者单位:北京钢铁学院
摘    要:本文较详细地介绍了用化学气相沉积(CVD)方法制取钨制品,如钨管、W-Re合金管、毛细管、棒材等的设备与工艺,化学气相沉积涂层金属钨的用途及其在某些基体上的粘附情况。

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