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| 电解液电反射法研究GaAs／GaAlAs多层结构材料 | |
| 引用本文： | 王周成,彭瑞伍.电解液电反射法研究GaAs／GaAlAs多层结构材料[J].稀有金属,1991,15(3):184-187. |
| 作者姓名： | 王周成 彭瑞伍 |
| 作者单位： | 中国科学院福建物质结构研究所 (王周成)，中国科学院上海冶金研究所 (彭瑞伍)，复旦大学(钱佑华) |
| 摘 要： | 在研究GaAs和GaAlAs电解液电反射谱的基础上,把电解液电反射方法与电化学可控阳极溶解技术结合起来,对GaAs/GaAlAs多层结构材料进行深度剖面分析。根据阳极溶解过程中电反射谱的变化,研究了多层结构材料的界面性质、p-n结位置和纵向铝组分分布。 |
| 关 键 词： | GaAs／GaAlAs 半导体 电解液电反射 |
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