|
|||||
|
|
| 用真空反应溅射CBC靶获得的Ti—Al—B—N涂层 | |
| 引用本文： | 李良福.用真空反应溅射CBC靶获得的Ti—Al—B—N涂层[J].钛工业进展,2001,18(1):18-20. |
| 作者姓名： | 李良福 |
| 摘 要： | 采用硬质薄膜涂层只有在该涂层的机械、物理和化学性能达到严格的要求后才有可能。近来，合成并研究了Ti-B-N，Ti-Si-N ，Ti-Al-N这些新的三组元涂层组分，以及Ti-Al-C-N，Ti-Si-C-N和Ti-B-Si-N的四组元薄膜成分。这些涂层的使用特性之所以高是由于若干因素的组合达到的。如雏晶的尺寸小，分界面的体积份额大，存在微观应力和宏观应力，在嵌入相内非金属元素的相互溶解度增大。在对Ti-Si-C-N和Ti-B-Si-N系纳米晶涂层研究的基础上，研究了颇具前景的Ti-B-N系涂层，即研究了不大浓度的铝与不同沉积涂层参数结合的影响问题，并进… |
| 关 键 词： | 钛合金涂层 真空反应溅射 复合靶 CBC靶 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《钛工业进展》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《钛工业进展》下载全文 | |