| AlN陶瓷基片烧结曲线的研究与优化 |
| |
| 引用本文： | 吕帅帅,倪威,倪红军,马立斌,陶建兵,康文秀. AlN陶瓷基片烧结曲线的研究与优化[J]. 有色金属(冶炼部分), 2018, 0(7): 62-66 |
| |
| 作者姓名： | 吕帅帅 倪威 倪红军 马立斌 陶建兵 康文秀 |
| |
| 作者单位： | 南通大学机械工程学院;莱鼎电子材料科技有限公司 |
| |
| 基金项目： | 江苏高校优势学科建设工程资助项目（苏政办发〔2014〕37号）；江苏省科技项目-政策引导类（国际科技合作）项目（BZ2016024）；南通市应用基础研究项目（GY12016054） |
| |
| 摘 要： | 研究了AlN陶瓷基片烧结曲线中液相烧结升温速率、保温时间、烧结温度对基片性能的影响。测定不同液相烧结升温速率下试样的翘曲度,确定最佳升温速率范围为0.2~0.5℃/min;同时,根据不同保温时间下试样密度的变化优选保温时间为5h,并协调出最高烧结温度为1 830℃。通过对比烧结曲线优化前后AlN陶瓷基片主要性能及组织结构,结果表明烧结曲线优化后效果明显。
|
| 关 键 词： | AlN陶瓷基片；液相烧结；保温时间；烧结温度；烧结曲线 |
| 收稿时间： | 2018-02-08 |
| 修稿时间： | 2018-02-27 |
Research and Optimization of Sintering Curves for AlN Ceramic Substrates |
| |
| Lv Shuaishuai,Ni Wei,Ni Hongjun,MA Li-bin,TAO Jian-bing and KANG Wen-xiu. Research and Optimization of Sintering Curves for AlN Ceramic Substrates[J]. Nonferrous Metals(Extractive Metallurgy), 2018, 0(7): 62-66 |
| |
| Authors: | Lv Shuaishuai Ni Wei Ni Hongjun MA Li-bin TAO Jian-bing KANG Wen-xiu |
| |
| Affiliation: | Nantong University |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | AlN ceramic substrate liquid phase sintering holding time sintering temperature sintering curve |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《有色金属(冶炼部分)》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《有色金属(冶炼部分)》下载免费的PDF全文 |
