| AZO靶材热压致密化及Al元素扩散研究 |
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| 引用本文： | 白雪,王星明,储茂友,张碧田,段华英,石志霞,孙静,韩沧.AZO靶材热压致密化及Al元素扩散研究[J].粉末冶金技术,2012,30(6):420-427,439. |
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| 作者姓名： | 白雪 王星明 储茂友 张碧田 段华英 石志霞 孙静 韩沧 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院稀有金属与冶金材料研究所,北京,100088 |
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| 基金项目： | 科研院所技术开发研究专项基金资助项目 |
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| 摘 要： | 以98∶2(质量比)的ZnO-Al2O3混合粉体为原料热压制备AZO靶材。通过阿基米德排水法测定试样密度,XRD分析物相组成,TEM观察靶材的微观结构,研究靶材热压致密化和Al元素扩散的规律。结果表明:Al元素在未经煅烧的原料粉中以Al2O3的形式存在;而在煅烧处理后的粉末中,Al元素部分扩散进入了ZnO的晶格中,导致其层状属性c/a值的减小,另一部分Al元素由于固溶度的限制形成ZnAl2O4尖晶石。在热压温度为1 000℃时,未经煅烧的原料粉中Al2O3与ZnO发生反应生成ZnAl2O4;而煅烧处理后的粉末在1 000℃热压时,尖晶石含量最高为3.41%(质量分数,下同),温度升至1 150℃,ZnAl2O4的含量下降至2.64%,延长保温时间,ZnAl2O4含量逐渐减少。由此说明,热压温度为1 000℃时,易于形成ZnAl2O4相,在升温过程中,ZnAl2O4与ZnO中的Al元素存在互扩散。通过靶材的微观结构分析发现,ZnO晶粒中夹杂着ZnAl2O4,Al元素含量在ZnO晶粒中呈梯度分布。在热压过程中插入合适的保温保压点能改进热压工艺,有效提高靶材的致密度。
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| 关 键 词： | AZO靶材 热压 密度 ZnAl2O4 |
Study of the hot-pressing densification process of AZO target and the diffusion behavior of Al element |
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| Bai Xue
,
Wang Xingming
,
Chu Maoyou
,
Zhang Bitian
,
Duan Huaying
,
Shi Zhixia
,
Sun Jing
,
Han Cang.Study of the hot-pressing densification process of AZO target and the diffusion behavior of Al element[J].Powder Metallurgy Technology,2012,30(6):420-427,439. |
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| Authors: | Bai Xue Wang Xingming Chu Maoyou Zhang Bitian Duan Huaying Shi Zhixia Sun Jing Han Cang |
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| Affiliation: | (Rare Metal and Metallurgical Materials Research Institute,General Research Institute for Non-Ferrous Metals,Beijing 100088,China) |
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