| 基体梯度降温对钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响 |
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| 引用本文： | 余志明,张益豪,魏秋平,龙芬,阳泰明,刘丹瑛.基体梯度降温对钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响[J].粉末冶金材料科学与工程,2012(6):754-760. |
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| 作者姓名： | 余志明 张益豪 魏秋平 龙芬 阳泰明 刘丹瑛 |
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| 作者单位： | 中南大学材料科学与工程学院;中南大学粉末冶金国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(21271188);中国博士后科学基金(2012M521541);中央高校基本科研业务费专项资金(2012QNZT002);中南大学贵重仪器设备开放共享基金资助(CSU2012024) |
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| 摘 要： | 采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在钛合金(Ti6Al4V)表面沉积金刚石薄膜,研究基体温度对金刚石形核的影响,及梯度降温CVD技术(即高温梯度降温形核-低温生长)对所得金刚石薄膜样品的物相组成、表面形貌和附着性能的影响。利用扫描电镜(SEM)、激光拉曼光谱(Raman)和维氏硬度仪分析薄膜的形貌、结构、成分和附着性能。结果表明:基体温度较高时,基体表面钛原子和活性碳原子具有更高的能量,更利于活性碳原子向基体的扩散,促进碳化钛的形成,最终延长金刚石的孵化期;采用高温形核-低温生长的梯度降温法可以在550~600℃下沉积质量良好的金刚石薄膜;基体温度在30 min内从800℃逐渐降温至550℃后再生长7 h,所得金刚石薄膜样品具有较好的附着性能。
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| 关 键 词： | 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 Ti6Al4V 形核 TiC层 |
Effect of gradient decreasing substrate temperature on the deposition of diamond on Ti6Al4V alloy |
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| YU Zhi-ming,ZHANG Yi-hao,WEI Qiu-ping,LONG Fen,YANG Tai-ming,LIU Dan-ying.Effect of gradient decreasing substrate temperature on the deposition of diamond on Ti6Al4V alloy[J].materials science and engineering of powder metallurgy,2012(6):754-760. |
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| Authors: | YU Zhi-ming ZHANG Yi-hao WEI Qiu-ping LONG Fen YANG Tai-ming LIU Dan-ying |
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| Affiliation: | 1 (1.School of Materials Science and Engineering,Central South University,Changsha 410083,China; 2.State Key Laboratory of Powder Metallurgy,Central South University,Changsha 410083,China) |
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