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| 高频等离子体化学气相沉积法制氮化硅超细粉的工艺研究 | |
| 引用本文： | 洪若瑜,李春忠.高频等离子体化学气相沉积法制氮化硅超细粉的工艺研究[J].化工冶金,1996,17(3):273-277. |
| 作者姓名： | 洪若瑜 李春忠 |
| 作者单位： | [1]中国科学化式冶金研究所多相反应开放研究实验室 [2]华东理工大学技术化学物理所 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 超细粉 氮化硅 高频 等离子体 化学气相沉积 |
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