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国产铸锭炉性能达世界先进水平
作者单位:
中国电科
摘 要:
日前,中国电子科技集团公司(简称中国电科)48所承担的电子信息产业发展基金“多晶硅铸锭炉开发及产业化”项目及“大口径闭管高温扩散/氧化设备”项目通过验收,标志着我国太阳能光伏产业关键设备国产化实现重大突破。中国电科48所在研制过程中,攻克了多晶硅定向凝固工艺技术、高洁净炉膛技术、晶体硅生长系统的热场技术、精密传动技术等一系列技术难题,开发出的铸锭炉具有完全自主知识产权,而且设备性能达到世界领先水平.
关 键 词:
设备国产化
中国电子科技集团公司
铸锭
炉膛
进水
世界
性能
传动技术
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