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| BO型超低阻靶材的研制 | |
| 引用本文： | 陈京,朱光义.BO型超低阻靶材的研制[J].江苏冶金,1996,24(4):20-21,37. |
| 作者姓名： | 陈京 朱光义 |
| 作者单位： | 江苏省冶金研究所，江苏省冶金研究所 南京市 210007，南京市 210007 |
| 摘 要： | 1 概况 自从1972年John chapin发明了平面磁控管溅射技术以后,磁控溅射开始几乎都是为各种集成电路服务的,直到八十年代初才移植到金属膜电阻器的成膜上来,我国自八十年代末期相继从美国、日本引进了十余条磁控溅射镀膜机,我所成功地研制出了用在 |
| 关 键 词： | 靶材 超低阻靶材 电阻器 溅射 |
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