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独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术(上)
引用本文:李汉广.独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术(上)[J].稀有金属与硬质合金,1994(4):59-62.
作者姓名:李汉广
作者单位:中南工业大学
摘    要:介绍了独联体国家难熔金属氟化物化学气相沉积的工艺、设备及其产品的开发情况和研究进展。

关 键 词:独联体国家  难熔金属  氟化物  化学气相沉积
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