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| 芯片生产废水处理技术探讨 | |
| 引用本文： | 蒋卫刚,季连芳,甘晓明,邢绍文.芯片生产废水处理技术探讨[J].给水排水,2006,32(7):59-61. |
| 作者姓名： | 蒋卫刚 季连芳 甘晓明 邢绍文 |
| 作者单位： | 上海市环境科学研究院,上海,200233 |
| 摘 要： | 通过实地调研,结合工程经验,采用比较分析的方法,就芯片生产废水中典型的含氨废水、含氟废水、研磨废水和酸碱废水的处理分别给出了较优的处理工艺流程,即浓氨吹脱—两段沉淀—三级酸碱中和处理工艺,其处理效果较好,将含氟废水与CMP研磨废水混合处理可节省投资。同时,介绍了设备选型中应注意的问题。 |
| 关 键 词： | 芯片生产废水 氟 氨 设备选型 |
| 修稿时间： | 2006年2月15日 |
Technical discussion on wastewater treatment of electronic chips production |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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