脉冲放电氦离子化检测器在高纯三氟化氮气体分析中的应用 |
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引用本文: | 尹强,许俊斌,周阳,毛沅文,叶丽芳,贾相锐,周瑾艳.脉冲放电氦离子化检测器在高纯三氟化氮气体分析中的应用[J].广东化工,2019,46(6). |
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作者姓名: | 尹强 许俊斌 周阳 毛沅文 叶丽芳 贾相锐 周瑾艳 |
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作者单位: | 广东省计量科学研究院,广东广州,510405;广东省计量科学研究院,广东广州,510405;广东省计量科学研究院,广东广州,510405;广东省计量科学研究院,广东广州,510405;广东省计量科学研究院,广东广州,510405;广东省计量科学研究院,广东广州,510405;广东省计量科学研究院,广东广州,510405 |
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摘 要: |
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关 键 词: | 脉冲放电氦离子检测器 三氟化氮 痕量杂质 阀切割 |
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