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脉冲放电氦离子化检测器在高纯三氟化氮气体分析中的应用
引用本文:尹强,许俊斌,周阳,毛沅文,叶丽芳,贾相锐,周瑾艳.脉冲放电氦离子化检测器在高纯三氟化氮气体分析中的应用[J].广东化工,2019,46(6).
作者姓名:尹强  许俊斌  周阳  毛沅文  叶丽芳  贾相锐  周瑾艳
作者单位:广东省计量科学研究院,广东广州,510405;广东省计量科学研究院,广东广州,510405;广东省计量科学研究院,广东广州,510405;广东省计量科学研究院,广东广州,510405;广东省计量科学研究院,广东广州,510405;广东省计量科学研究院,广东广州,510405;广东省计量科学研究院,广东广州,510405
摘    要:

关 键 词:脉冲放电氦离子检测器  三氟化氮  痕量杂质  阀切割
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