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| 高品质三氯氢硅中碳含量的控制 | |
| 引用本文： | 赵生艳,李仕勇,黄杰,耿志萍,何茂魁.高品质三氯氢硅中碳含量的控制[J].云南化工,2018(5). |
| 作者姓名： | 赵生艳 李仕勇 黄杰 耿志萍 何茂魁 |
| 作者单位： | 云南冶金云芯硅材股份有限公司;云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室 |
| 摘 要： | 改良西门子法生产的多晶硅,其产品质量中碳杂质的一个重要来源是原料高品质三氯氢硅中的甲基氯硅烷,而四氯化硅冷氢化法生产的原料粗三氯氢硅,在精馏过程中较难脱除的甲基氯硅烷是甲基二氯氢硅和三甲基氯硅烷,在生产中,结合工艺流程优化控制方法,实现产品三氯氢硅中甲基氯硅烷的稳定控制。 |
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